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產(chǎn)品型號(hào): DH-900DZX
所屬分類:示波器
產(chǎn)品時(shí)間:2016-08-25
簡(jiǎn)要描述:DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)DH900DZX使用說(shuō)明書(shū)該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質(zhì)或裝飾涂層,具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)。
DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)DH900DZX使用說(shuō)明書(shū)
該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質(zhì)或裝飾涂層,具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)。
◆ 真空室:鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm;箱式、前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu);
◆ 抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵:前級(jí)泵70L/S;維持泵:2X-8旋片泵;羅茨泵:ZJP-150; 擴(kuò)散泵:KT-500 ;分子泵: FF250/1600(選配);
◆ 極限真空:5×10-4Pa;恢復(fù)真空:5×10-3 Pa(小于20min);
◆ 鍍膜系統(tǒng):平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;
◆ 輔助鍍膜系統(tǒng):脈沖偏壓電源,條形離子源(選配);
◆ 膜厚測(cè)量系統(tǒng):石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)(選配);
◆ 進(jìn)氣系統(tǒng):自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng);
◆ 操作方式:手動(dòng)按鍵式;控制系統(tǒng)配置:研華工控機(jī),80G硬盤(pán),512內(nèi)存+日本三菱PLC;10英寸液晶顯示觸摸屏界面;
◆ 旋轉(zhuǎn)夾具:公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具,速度從 0~15r/min 無(wú)級(jí)可調(diào);
◆ 工件烘烤:室溫~300℃;
◆ 供電電源: 三相380V,50Hz。
◆ 特殊規(guī)格可定制。
DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)DH900DZX使用說(shuō)明書(shū)
TU-10 DU-20 HH.S21-4 HH.S11-2 HH.S11-2-S HH.S21-6-S HH.S21-8-S WZZ-1 HH.S21-4-S DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-2